性能規格：

孔徑大小等級：

0.03, 0.05, 0.1, 0.2, 1.0 micron (μm)

最大壓差：

3.40 bard (3.47 kg/cm2d, 49 psid) @25°C (77°F)

最大操作溫度:

60°C (140°F)

膜區域：

16:1500 cm2

40:3500 cm2

應用：

193nm和248nm光刻膠系統過濾

遺留光化學過濾

適用于顯影劑和去離子水