性能規格：
顆粒滯留：
移除99.99% 以上較大顆粒
直徑0.003um (已在大多數是滲透性顆粒的環境中證實過)
最大壓差：
3.4 bard (3.47 kg/cm2d, 49 psid) @ 21°C(69.8°F)
5.5 bard (5.61 kg/cm2d, 80 psid) @ 121°C(249.8°F)
推薦流速:
上限300 slpm (10 scfm)
最大操作溫度:
170°C (338°F)
水分：
< 10 ppb
應用：
高純度的壓縮空氣 處理特殊氣體 在分配箱中 有毒氣體
