應用：

晶圓生產
回收
R&D
在工藝控制方面

厚度
TTV
電阻率/表面電阻
RRV
摻雜物

低電阻率：

計量器型號 晶圓尺寸 電阻率范圍 厚度范圍

MX 604 / MX 604-B silicon blocks 0.25 - 25 Ohm*cm

MX 604-S 2" - 8" 0.1 - 50 Ohm/square 200 - 900μm

MX 604-ST 125x125, 156x156mm
2"-6" 0.06 - 30 Ohm*cm 60 - 300μm

MX 608 6", 8" 0.001 - 200 Ohm*cm 500 - 800μm

MX 608-q 125x125, 156x156mm 0.1 - 50 Ohm*cm 150 - 350μm

MX 6012 8", 12" 0.001 - 200 Ohm*cm 600 - 900μm

高電阻率：

計量器型號 晶圓尺寸 電阻率范圍 厚度范圍

MX 601 up to 6" 5E4 to 5E9 Ohm*cm 350 - 650μm

MX 6010 2", 3", 4" 2E5 to 2E9 Ohm*cm 300 - 600μm

上一個： PFA 焊接機

下一個： IL C 3000 ......

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計量器型號	晶圓尺寸	電阻率范圍	厚度范圍
MX 604 / MX 604-B	silicon blocks	0.25 - 25 Ohm*cm
MX 604-S	2" - 8"	0.1 - 50 Ohm/square	200 - 900μm
MX 604-ST	125x125, 156x156mm 2"-6"	0.06 - 30 Ohm*cm	60 - 300μm
MX 608	6", 8"	0.001 - 200 Ohm*cm	500 - 800μm
MX 608-q	125x125, 156x156mm	0.1 - 50 Ohm*cm	150 - 350μm
MX 6012	8", 12"	0.001 - 200 Ohm*cm	600 - 900μm

MX 60x 系列

應用：