為苛刻的工藝過程快速和精確的溫度控制

熱電溫度控制系統LAUDA Semistat為等離子刻蝕工藝提供穩定的可重復性的溫度控制。系統動態地控制靜電卡盤(ESC)的溫度并可以用在任何的刻蝕工藝中。LAUDA Semistat 熱電溫度控制系統設計的基礎是基于帕爾帖原理的溫度轉換， 這些原件可以實現快速且精準的溫度控制，滿足了當今元器件生產尺寸越來越小的要求。

與基于壓縮機的系統相比，熱點在線使用 Semistat 溫度控制系統，降低能耗多達 90 %?？砂惭b在使用地點的地下，非常節省空間，這樣最大限度地減少無塵室的使用?？焖俸途珳实貙⑦^程溫度曲線控制在 ±0.1 K，從而提高晶圓間均質性。

重要功能：

低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統

占地空間小，如果放置在地板下方則不占用Sub-Fab

極低的導熱液體填充量

技術參數：