InnoLas Semiconductor是世界領先的高品質晶圓激光打標設備(wafer marker)和分揀設備(wafer sorter)的德國制造商。應用于2“ 至450毫米尺寸的晶圓和幾乎所有的材料,例如硅,碳化硅,砷化鎵,石英,藍寶石,鍺等。是全球第一家提供450mm的激光打標和分揀設備制造商。
標準功能 :
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可選功能:
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-支持2"至200毫米晶圓尺寸
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-SECS/GEM接口
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-多達6盒站
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-邊緣握手處理
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-使用雙臂機械手,已達到最高生產量
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-以晶圓厚度的排序
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-晶圓ID讀碼器
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-晶圓盒ID讀碼器
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-槽映射傳感器
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-手持條碼閱讀器
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