InnoLas Semiconductor是世界領先的高品質晶圓激光打標設備(wafer marker)和分揀設備(wafer sorter)的德國制造商。應用于2“ 至450毫米尺寸的晶圓和幾乎所有的材料,例如硅,碳化硅,砷化鎵,石英,藍寶石,鍺等。是全球第一家提供450mm的激光打標和分揀設備制造商。
標準功能 :
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可選功能:
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-支持300毫米晶圓尺寸
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-自動功率控制器
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-4盒站
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-晶圓上下讀碼器
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-點陣OCR,條形碼和T7
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-晶圓盒ID讀碼器
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-極高的生產量
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-SECS/GEM接口
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-優良的準確性和重復性
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-電動調焦系統
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-各種激光器可用于支持
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-厚度測量選項
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-所有類型材料(硅、砷化鎵、碳化硅、藍寶石)
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-模式識別定位系統
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-以晶圓ID的晶圓分揀
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-邊緣握手處理
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